ORC曝光機EXP-2031B
高生產性
對應大尺寸基板:最大對應660 x 558mm
搭載高照度燈管:曝光時間縮短25%
對應潔凈度
標配HEPA過濾器和底片/曝光臺面清潔機構
EXP-2031B具備平行光光學系統,分割曝光機構,高照度燈管,溫濕度調整器,清潔機構,為ORC高階自動接觸式曝光機。
ORC提供多種線路及防焊設備供客戶選擇。